Hurtig levering
Fremragende Trustpilot
Op til 20% Rabat på nye medlemsordrer
Kurv

Plasma Etching Processes for CMOS Devices Realization

Engelsk Hardback
SPAR
kr 117

Plasma Etching Processes for CMOS Devices Realization

Engelsk Hardback
Plasma etching has long enabled the perpetuation of Moore's Law. Today, etch compensation helps to create devices that are smaller than 20 nm. But, with the constant downscaling in device dimensions and the emergence of complex 3D structures (like FinFet, Nanowire and stacked nanowire at longer term) and sub 20 nm devices, plasma etching requirements have become more and more stringent.Now more than ever, plasma etch technology is used to push the limits of semiconductor device fabrication into the nanoelectronics age. This will require improvement in plasma technology (plasma sources, chamber design, etc.), new chemistries (etch gases, flows, interactions with substrates, etc.) as well as a compatibility with new patterning techniques such as multiple patterning, EUV lithography, Direct Self Assembly, ebeam lithography or nanoimprint lithography.This book presents these etch challenges and associated solutions encountered throughout the years for transistor realization.
Eksklusiv medlemspris 508 kr
Medlemspris 520 kr
Eksklusiv medlemspris og medlemspris er kun for medlemmer. Du bliver automatisk medlem når du køber til eksklusiv medlemspris eller medlemspris. Få 7 dages gratis medlemskab (herefter automatisk 89 kr/30 dage). Læs mere om fordelene
Gratis fragt
23 - 25 hverdage
10 kr
Lavt pakkegebyr
Normalpris 625 kr
Fragt: 59 kr
23 - 25 hverdage
20 kr
Pakkegebyr
Spar 117 kr
Se vores konkurrenters priser her
God 15.877 anmeldelser på
Plasma etching has long enabled the perpetuation of Moore's Law. Today, etch compensation helps to create devices that are smaller than 20 nm. But, with the constant downscaling in device dimensions and the emergence of complex 3D structures (like FinFet, Nanowire and stacked nanowire at longer term) and sub 20 nm devices, plasma etching requirements have become more and more stringent.Now more than ever, plasma etch technology is used to push the limits of semiconductor device fabrication into the nanoelectronics age. This will require improvement in plasma technology (plasma sources, chamber design, etc.), new chemistries (etch gases, flows, interactions with substrates, etc.) as well as a compatibility with new patterning techniques such as multiple patterning, EUV lithography, Direct Self Assembly, ebeam lithography or nanoimprint lithography.This book presents these etch challenges and associated solutions encountered throughout the years for transistor realization.
Produktdetaljer
Sprog: Engelsk
Sider: 136
ISBN-13: 9781785480966
Indbinding: Hardback
Udgave:
ISBN-10: 1785480960
Udg. Dato: 18 jan 2017
Længde: 15mm
Bredde: 160mm
Højde: 237mm
Forlag: ISTE Press Ltd - Elsevier Inc
Oplagsdato: 18 jan 2017
Forfatter(e):
Forfatter(e)


Kategori Elektronik: kredse og komponenter


Sprog Engelsk


Indbinding Hardback


Sider 136


Udgave


Længde 15mm


Bredde 160mm


Højde 237mm


Udg. Dato 18 jan 2017


Oplagsdato 18 jan 2017

MEDLEMSFORDELE
GRATIS FRAGT
SPAR OP TIL 90%
Andre har også købt
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 380

kr 499
Normalpris
kr 392
Medlemspris
SPAR
kr 119
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 200

kr 280
Normalpris
kr 208
Medlemspris
SPAR
kr 80
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 199

kr 320
Normalpris
kr 211
Medlemspris
SPAR
kr 121
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 191

kr 269
Normalpris
kr 199
Medlemspris
SPAR
kr 78
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 919

kr 1.499
Normalpris
kr 977
Medlemspris
SPAR
kr 580
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 179

kr 249
Normalpris
kr 186
Medlemspris
SPAR
kr 70
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 194

kr 300
Normalpris
kr 205
Medlemspris
SPAR
kr 106
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 226

kr 299
Normalpris
kr 233
Medlemspris
SPAR
kr 73
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 184

kr 299
Normalpris
kr 196
Medlemspris
SPAR
kr 115
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 249

kr 249
Normalpris
kr 249
Medlemspris
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 167

kr 250
Normalpris
kr 175
Medlemspris
SPAR
kr 83
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 152

kr 199
Normalpris
kr 157
Medlemspris
SPAR
kr 47
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 115

kr 119
Normalpris
kr 115
Medlemspris
SPAR
kr 4
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 211

kr 299
Normalpris
kr 220
Medlemspris
SPAR
kr 88
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 184

kr 299
Normalpris
kr 196
Medlemspris
SPAR
kr 115
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 144

kr 199
Normalpris
kr 150
Medlemspris
SPAR
kr 55
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 149

kr 269
Normalpris
kr 161
Medlemspris
SPAR
kr 120
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 166

kr 201
Normalpris
kr 170
Medlemspris
SPAR
kr 35
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 80

kr 299
Normalpris
kr 102
Medlemspris
SPAR
kr 219
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 214

kr 320
Normalpris
kr 225
Medlemspris
SPAR
kr 106
Vi anbefaler også
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 455

kr 518
Normalpris
kr 461
Medlemspris
SPAR
kr 63
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 323

kr 619
Normalpris
kr 353
Medlemspris
SPAR
kr 296
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 455

kr 518
Normalpris
kr 461
Medlemspris
SPAR
kr 63
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 455

kr 518
Normalpris
kr 461
Medlemspris
SPAR
kr 63
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 455

kr 518
Normalpris
kr 461
Medlemspris
SPAR
kr 63
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 455

kr 518
Normalpris
kr 461
Medlemspris
SPAR
kr 63
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 455

kr 518
Normalpris
kr 461
Medlemspris
SPAR
kr 63
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 472

kr 540
Normalpris
kr 479
Medlemspris
SPAR
kr 68
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 446

kr 506
Normalpris
kr 452
Medlemspris
SPAR
kr 60
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 455

kr 518
Normalpris
kr 461
Medlemspris
SPAR
kr 63
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 455

kr 518
Normalpris
kr 461
Medlemspris
SPAR
kr 63
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 455

kr 518
Normalpris
kr 461
Medlemspris
SPAR
kr 63
BOG (HARDBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 840

kr 1.126
Normalpris
kr 869
Medlemspris
SPAR
kr 286
BOG (HARDBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 919

kr 1.239
Normalpris
kr 951
Medlemspris
SPAR
kr 320
BOG (HARDBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 490

kr 563
Normalpris
kr 497
Medlemspris
SPAR
kr 73
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 455

kr 518
Normalpris
kr 461
Medlemspris
SPAR
kr 63
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 407

kr 506
Normalpris
kr 417
Medlemspris
SPAR
kr 99
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 595

kr 698
Normalpris
kr 605
Medlemspris
SPAR
kr 103