Hurtig levering
Fremragende Trustpilot
Op til 20% Rabat på nye medlemsordrer
Kurv
Laser Heat-Mode Lithography
Af: Jingsong Wei Engelsk Hardback
SPAR
kr 253
Laser Heat-Mode Lithography
Af: Jingsong Wei Engelsk Hardback

This book provides a systematic description and analysis of laser heat-mode lithography, addressing the basic principles, lithography system, manipulation of feature size, grayscale lithography, resist thin films, and pattern transfer, while also presenting typical experimental results and applications. It introduces laser heat-mode lithography, where the resist thin films are essentially an opto-thermal response to the laser beam with changeable wavelength and are not sensitive to laser wavelength. Laser heat-mode lithography techniques greatly simplify production procedures because they require neither a particular light source nor a particular environment; further, there are no pre-baking and post-baking steps required for organic photoresists. The pattern feature size can be either larger or smaller than the laser spot by adjusting the writing strategy. The lithographic feature size can also be arbitrarily tuned from nanoscale to micrometer without changing the laser spot size. Lastly, the line edge roughness can be controlled at a very low value because the etching process is a process of breaking bonds among atoms. The book offers an invaluable reference guide for all advanced undergraduates, graduate students, researchers and engineers working in the fields of nanofabrication, lithography techniques and systems, phase change materials, etc.

Eksklusiv medlemspris 761 kr
Medlemspris 786 kr
Eksklusiv medlemspris og medlemspris er kun for medlemmer. Du bliver automatisk medlem når du køber til eksklusiv medlemspris eller medlemspris. Få 7 dages gratis medlemskab (herefter automatisk 89 kr/30 dage). Læs mere om fordelene
Gratis fragt
23 - 25 hverdage
10 kr
Lavt pakkegebyr
Normalpris 1.014 kr
Fragt: 59 kr
23 - 25 hverdage
20 kr
Pakkegebyr
Spar 253 kr
Se vores konkurrenters priser her
God 15.855 anmeldelser på

This book provides a systematic description and analysis of laser heat-mode lithography, addressing the basic principles, lithography system, manipulation of feature size, grayscale lithography, resist thin films, and pattern transfer, while also presenting typical experimental results and applications. It introduces laser heat-mode lithography, where the resist thin films are essentially an opto-thermal response to the laser beam with changeable wavelength and are not sensitive to laser wavelength. Laser heat-mode lithography techniques greatly simplify production procedures because they require neither a particular light source nor a particular environment; further, there are no pre-baking and post-baking steps required for organic photoresists. The pattern feature size can be either larger or smaller than the laser spot by adjusting the writing strategy. The lithographic feature size can also be arbitrarily tuned from nanoscale to micrometer without changing the laser spot size. Lastly, the line edge roughness can be controlled at a very low value because the etching process is a process of breaking bonds among atoms. The book offers an invaluable reference guide for all advanced undergraduates, graduate students, researchers and engineers working in the fields of nanofabrication, lithography techniques and systems, phase change materials, etc.

Produktdetaljer
Sprog: Engelsk
Sider: 208
ISBN-13: 9789811509421
Indbinding: Hardback
Udgave:
ISBN-10: 9811509425
Udg. Dato: 29 nov 2019
Længde: 0mm
Bredde: 235mm
Højde: 155mm
Oplagsdato: 29 nov 2019
Forfatter(e): Jingsong Wei
Forfatter(e) Jingsong Wei


Kategori Kondenserede fasers fysik: væskeform og faststoffysik


Sprog Engelsk


Indbinding Hardback


Sider 208


Udgave


Længde 0mm


Bredde 235mm


Højde 155mm


Udg. Dato 29 nov 2019


Oplagsdato 29 nov 2019

MEDLEMSFORDELE
GRATIS FRAGT
SPAR OP TIL 90%
Andre har også købt
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 200

kr 280
Normalpris
kr 208
Medlemspris
SPAR
kr 80
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 208

kr 299
Normalpris
kr 217
Medlemspris
SPAR
kr 91
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 380

kr 499
Normalpris
kr 392
Medlemspris
SPAR
kr 119
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 214

kr 320
Normalpris
kr 225
Medlemspris
SPAR
kr 106
LYDBOG
Eksklusiv medlemspris kr 95

kr 129
Normalpris
kr 98
Medlemspris
SPAR
kr 34
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 188

kr 269
Normalpris
kr 196
Medlemspris
SPAR
kr 81
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 262

kr 349
Normalpris
kr 271
Medlemspris
SPAR
kr 87
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 220

kr 320
Normalpris
kr 230
Medlemspris
SPAR
kr 100
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 187

kr 249
Normalpris
kr 193
Medlemspris
SPAR
kr 62
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 203

kr 300
Normalpris
kr 213
Medlemspris
SPAR
kr 97
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 199

kr 299
Normalpris
kr 209
Medlemspris
SPAR
kr 100
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 919

kr 1.499
Normalpris
kr 977
Medlemspris
SPAR
kr 580
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 329

kr 499
Normalpris
kr 346
Medlemspris
SPAR
kr 170
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 27

kr 227
Normalpris
kr 47
Medlemspris
SPAR
kr 200
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 199

kr 299
Normalpris
kr 209
Medlemspris
SPAR
kr 100
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 114

kr 129
Normalpris
kr 116
Medlemspris
SPAR
kr 15
BOG (HARDBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 25

kr 227
Normalpris
kr 45
Medlemspris
SPAR
kr 202
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 246

kr 329
Normalpris
kr 254
Medlemspris
SPAR
kr 83
BOG (HÆFTET)
Eksklusiv medlemspris kr 207

kr 269
Normalpris
kr 213
Medlemspris
SPAR
kr 62
BOG (INDBUNDET)
Eksklusiv medlemspris kr 183

kr 270
Normalpris
kr 192
Medlemspris
SPAR
kr 87
Vi anbefaler også
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 840

kr 1.126
Normalpris
kr 869
Medlemspris
SPAR
kr 286
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 919

kr 1.239
Normalpris
kr 951
Medlemspris
SPAR
kr 320
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 643

kr 844
Normalpris
kr 663
Medlemspris
SPAR
kr 201
BOG (HARDBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 919

kr 1.239
Normalpris
kr 951
Medlemspris
SPAR
kr 320
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 796

kr 957
Normalpris
kr 812
Medlemspris
SPAR
kr 161
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 485

kr 619
Normalpris
kr 498
Medlemspris
SPAR
kr 134
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 577

kr 675
Normalpris
kr 587
Medlemspris
SPAR
kr 98
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 446

kr 563
Normalpris
kr 458
Medlemspris
SPAR
kr 117
BOG (HARDBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 919

kr 1.115
Normalpris
kr 939
Medlemspris
SPAR
kr 196
BOG (HARDBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 1027

kr 1.115
Normalpris
kr 1.036
Medlemspris
SPAR
kr 88
BOG (HARDBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 717

kr 912
Normalpris
kr 737
Medlemspris
SPAR
kr 195
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 761

kr 1.014
Normalpris
kr 786
Medlemspris
SPAR
kr 253
BOG (HARDBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 750

kr 957
Normalpris
kr 771
Medlemspris
SPAR
kr 207
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 407

kr 506
Normalpris
kr 417
Medlemspris
SPAR
kr 99
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 407

kr 506
Normalpris
kr 417
Medlemspris
SPAR
kr 99
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 779

kr 935
Normalpris
kr 795
Medlemspris
SPAR
kr 156
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 595

kr 698
Normalpris
kr 605
Medlemspris
SPAR
kr 103
BOG (PAPERBACK)
Eksklusiv medlemspris kr 446

kr 506
Normalpris
kr 452
Medlemspris
SPAR
kr 60